| SF6露點(diǎn) | 測(cè)量范圍 | -80℃~+20℃(支持PPMV等) |
| 精度 | ±0.5℃(當(dāng)露點(diǎn)溫度低于0℃,傳感器輸出為霜點(diǎn)) | |
| 重復(fù)性 | ±0.2℃ | |
| 氣體流量 | SF6調(diào)節(jié)在0.5~0.9L/min | |
| 響應(yīng)時(shí)間 |
63%[90%] +20→-20℃ Td 5s[45s] -20→-60℃ Td 10s[240s] |
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| SF6純度 | 測(cè)量范圍 | 0~100% ; 精度:±0.5% |
| SF6分解物 | 測(cè)量范圍 |
H2S:1~200ppm(標(biāo)配) SO2:1~100ppm(標(biāo)配) HF: 0~10ppm(可選) CO:0-1000ppm(可選) 精度:±1ppm |

